Механична полираща машина от серия MP
Машината за механично полиране от серията LSTD MP е разработена, за да отговори на изискванията за бързо полиране на супер твърди материали. Оборудването използва мека метална плоча или композитна плоча и диамантена суспензия със специфичен размер на частиците, което може да накара обработения детайл да достигне огледалната повърхност бързо. Друго значително предимство на механичното полиране е, че при предпоставката за добър контрол на формата на плочата може да се получи много плоска повърхност на детайла с почти никакво сгъване на ръба. За детайла (вафла) с епитаксиално приложение, след механично полиране, времето на процеса на химично механично полиране може да бъде значително съкратено и цената да бъде намалена. Машината за химическо механично полиране от серия MP може да се използва за механично полиране на различни супер твърди полупроводникови пластини като сапфир, силициев карбид и диамант, както и за полиране на други супер твърди материали като керамика, циментиран карбид и закалена стомана.
Като машини за химическо механично полиране от серия CP:
Механичните полиращи машини от серията MP също се разделят на три същите модела: основен тип, централно задвижван тип с диск под налягане (тип CD) и тип с независимо задвижване от притискащата плоча (тип IDP) (вижте страница 4; механичните полиращи машини от серията MP имат структура, подобна на CP серия химически механични полиращи машини, но за да отговорят на нуждите от механично полиране, механичните полиращи машини от серия MP са оборудвани със система за завъртане на полиращи плочи за нарязване на плочите.
Машина за механично полиране тип IDP:
Машината за механично полиране тип IDP може също така допълнително да подобри точността на механичното полиране чрез интегриране на функцията за люлеене на притискащата плоча; За да се решат проблемите с деформацията на разширението и намаляването на твърдостта на полиращата плоча, причинени от нагряване, генерирано от механично полиране, LSTD разработи нова технология и кандидатства за патент, който може ефективно да контролира температурата на повърхността на плочата, формата на плочата и твърдостта на плочата; За механичното полиране на полупроводникови материали от трето поколение като силициев карбид, диамант и други пластини, тази технология може ефективно да реши проблемите с ефективността и точността на механичното полиране.
BASIC TYPE серия MP механична машина за полиране
Тип и спец | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Диаметър на полиращата плоча | 381 мм | 460 мм | 598 мм | 796 мм | 898 мм | 1262 мм | 1480 мм |
Диаметър на притискащата плоча | 139 мм | 150 мм | 240 мм | 304,8 мм | 360мм/355мм | 485 мм | 576 мм |
Брой притискаща плоча | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Полираща плоча RPM | 10~160 об./мин | 10~160 об./мин | 10~115 об./мин | 10~87 об./мин | 10-80rpm | 10~64 об./мин | 10-54rpm |
Полиращо налягане (макс.) | 100 кг | 100 кг | 140 кг | 250 кг | 320 кг | 560 кг | 760 кг |
Мощност на двигателя | 0.75kw | 1,5kw | 3kw | 5.5KW | 11kw | 22kw | 35kw |
Захранване | 3PH, 380V, 50Hz | ||||||
Измерение | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Тегло (приблизително..) | 420 кг | 720 кг | 1080 кг | 2200 кг | 2400кг | 7300кг | 9500кг |
Капацитет за зареждане на вафли | 2"-4бр./глава 2"-3бр./глава(V) | 2"-5бр./глава 2"-4бр./глава(V) | 2"-10бр./глава 4"-3бр./глава | 2"-14бр./глава 4"-5бр./глава 5"-3бр./глава | 4"-7бр./глава 5"-5бр./глава 6"-3бр./глава | 5"-8бр./глава 6"-6бр./глава 8"-3бр./глава | 6"-8бр./глава 8"-5бр./глава |
Механична полираща машина от серия CD TYPE MP
Тип и спец | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Диаметър на полиращата плоча | 381 мм | 460 мм | 598 мм | 796 мм |
Диаметър на притискащата плоча | 139 мм | 150 мм | 240 мм | 304,8 мм |
Брой притискаща плоча | 3 | 4 | 4 | 4 |
Полираща плоча RPM | 10~160 об./мин | 10~160 об./мин | 10~115 об./мин | 10~87 об./мин |
Полиращо налягане (макс.) | 100 кг | 100 кг | 140 кг | 250 кг |
Мощност на двигателя с централно задвижване | 400W | 750KW | 1KW | 1,5KW |
Основна мощност на двигателя | 0.75kw | 1,5KW | 3kw | 5.5KW |
Захранване | 3PH, 380V, 50Hz | |||
Измерение | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Тегло (приблизително..) | 420 кг | 720 кг | 1080 кг | 2200 кг |
Капацитет за зареждане на вафли | 2"-4бр./глава | 2"-5бр./глава | 2"-10бр./глава 4"-3бр./глава | 2"-14бр./глава 4"-5бр./глава 5"-3бр./глава |
Тип и спец | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Диаметър на полиращата плоча | 898 мм | 1262 мм | 1480 мм |
Диаметър на притискащата плоча | 360мм / 355мм | 485 мм | 576 мм |
Брой притискаща плоча | 4 | 4 | 4 |
Полираща плоча RPM | 10-80rpm | 10~64 об./мин | 10-54rpm |
Полиращо налягане (макс.) | 320 кг | 560 кг | 760 кг |
Мощност на двигателя с централно задвижване | 2KW | 3,5KW | 5.5KW |
Основна мощност на двигателя | 11kw | 22kw | 35kw |
Захранване | 3PH, 380V, 50Hz | ||
Измерение | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Тегло (приблизително..) | 2400кг | 7300кг | 9500кг |
Капацитет за зареждане на вафли | 4"-7бр./глава 5"-5бр./глава 6"-3бр./глава | 5"-8бр./глава 6"-6бр./глава 8"-3бр./глава | 6"-8бр./глава 8"5 бр./глава |
Машина за механично полиране от серия IDP TYPE MP
Тип и спец | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Диаметър на полиращата плоча | 381 мм | 460 мм | 598 мм | 796 мм |
Диаметър на притискащата плоча | 139 мм | 150 мм | 240 мм | 304,8 мм |
Брой притискаща плоча | 3 | 3 | 4 | 4 |
Полираща плоча RPM | 10~160 об./мин | 10~160 об./мин | 10~115 об./мин | 10~87 об./мин |
Полиращо налягане (макс.) | 100 кг | 100 кг | 140 кг | 250 кг |
Мощност на двигателя, задвижвана от притискаща плоча | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
Скорост на въртене на притискащата плоча | 0~200 об./мин | 0~200 об./мин | 0~100 об./мин | 0~100 об./мин |
Основна мощност на двигателя | 0.75kw | 1,5kw | 3kw | 5.5KW |
Захранване | 3PH, 380V, 50Hz | |||
Измерение | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Тегло (приблизително..) | 350 кг | 350 кг | 980 кг | 1800 кг |
Капацитет за зареждане на вафли | 2"-4бр./глава | 2"-4бр./глава | 2"-10бр./глава 4"-3бр./глава | 2"-14бр./глава 4"-5бр./глава 5"-3бр./глава |
Тип и спец | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Диаметър на полиращата плоча | 898 мм | 1262 мм | 1480 мм |
Диаметър на притискащата плоча | 360мм / 355мм | 485 мм | 576 мм |
Брой притискаща плоча | 4 | 4 | 4 |
Полираща плоча RPM | 10-80rpm | 10~64 об./мин | 10-54rpm |
Полиращо налягане (макс.) | 320 кг | 560 кг | 760 кг |
Мощност на двигателя, задвижвана от притискаща плоча | 2KW | 1KW | 1.3KW |
Скорост на въртене на притискащата плоча | 2KW | 0~100 об./мин | 0~100 об./мин |
Основна мощност на двигателя | 11kw | 22kw | 35kw |
Захранване | 3PH, 380V, 50Hz | ||
Измерение | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Тегло (приблизително..) | 2200 кг | 7000 кг | 8600 кг |
Капацитет за зареждане на вафли | 4"-7бр./глава 5"-5бр./глава 6"-3бр./глава | 5"-8бр./глава 6"-6бр./глава 8"-3бр./глава | 6"-8бр./глава 8"5 бр./глава |
Популярни тагове: mp серия механични полиращи машини, Китай mp серия механични полиращи машини производители, доставчици, фабрика
Един чифт
НеСледваща
НеМоже да харесаш също
Изпрати запитване